众博(中国)科技

众博(中国)HQ-MF系列中频电源，是广泛应用在太阳能电池制造和真空镀膜过程中，等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）镀膜工艺上的特种电源。输出有单通道、双通道等方式，每通道功率可达15kW~60kW，可以输出多种电压波形（如方波、阶梯波、双极性脉冲波），满足不同镀膜工艺要求。